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產品資料
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光線溫度傳感器Luxtron

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 光線溫度傳感器Luxtron
產品型號: Luxtron m920
產品展商: Advanced Energy
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

用于 OEM -100oC 至 330oC 的光纖溫度傳感系統 Advanced Energy 的 Luxtron 四通道 m924 和雙通道 m922 半導體模塊經過精心設計,可對蝕刻器和靜電吸盤、腔室和其他設備等晶圓制造設備進行溫度監測。 混合和匹配組件 可使用當前半導體 Luxtron 品牌 Fluoroptic 探頭和光纖延長線 內置校準表可匹配定制 AE 探頭,實現高精度測量 *大可實現精度為 ±0.05°C(視探頭而定)


光線溫度傳感器Luxtron  的詳細介紹

完整的 Luxtron® m920 系列 OEM 解決方案采用電子模塊組件制造,配備兩個主板和探頭。主板包含光纖溫度傳感通道、數字輸出(RS232 ASCII 和 RS485 Modbus)和電源連接。模擬輸出板安裝在主板上方,提供 0 至 10 V 或 4 至 20 mA 輸出。還可以選擇金屬外殼。

m920 系列系統采用 Fluoroptic® 技術。m920 系列主板可對來自 Fluoroptic 探頭的測量信號進行調制,然后將校準的溫度報告給 OEM 控制系統。

優點

  • 為不同的蝕刻和晶圓制造過程實現高精度和高溫范圍
  • 以快速采樣率監測更快的斜坡條件
  • 使用這種低噪聲解決方案獲得更**的溫度測量結果
  • 充分利用產品的出色可靠性,降低故障率
  • 獲得支持 在全球范圍內支持定制集成和探頭設計
 

特點

  • 雙通道或四通道,借助 RS485 Modbus 可擴展至多達 64 通道
  • 單 PCB 設計,具有模擬輸出和金屬外殼等選項
  • 高電壓、射頻、等離子體和微波等不會對探頭產生電磁干擾
  • 可向后兼容 Advanced Energy 彈簧加載和 Accudisc 探頭
  • 可為半導體應用提供定制探頭
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